クリーン環境　メモ
2011年12月27日更新






めやす
粒径0.1umの粒子数
粒径0.2umの粒子数
粒径0.3umの粒子数
粒径0.5umの粒子数
粒径5umの粒子数


JIS / ISO
USA

[/m3]
[/f3]
[/m3]
[/f3]
[/m3]
[/f3]
[/m3]
[/f3]
[/m3]
[/f3]


クラス1
-

101

2









クラス2
-

102
2
-









クラス3
クラス1
(半導体工場）
103
35
237
8
102
3
35
1




クラス4
クラス10
(国立天文台高度環境試験棟)
104
350
2370
75
1020
30
352
10




クラス5
クラス100
(成層圏)
(国立天文台高度環境試験棟)
(国立天文台先端技術センター)
LCGT干渉計周辺目標値
105

23700
750
10200
300
35200
100
29



クラス6
クラス1000

106

237000

102000

35200
1000
293
7


クラス7
クラス 1万
(雲の上)
LCGTクライオスタット組立環境






352000
10000
2930
70


クラス8
クラス 10万
(高原)
(病院の手術室）







100000




クラス9
クラス 100万
(都心、工場)
神岡坑道内







1000000





クラス 1000万
(タバコを吸う人がいる会議室)







10000000






・(定義）0.5um粒子を対象に1CF(=28.3L)中の粒子数の上限値。
・1 CF [f3] = 28.3 L

参考文献
・クリーンルームポータルサイト
　(トップページの基礎講座や製品・実験レポートの内容が濃い)
・「ひので」写真でみるコンタミとの戦い
　(国立天文台先端技術センターのクリーンルーム）