| 部品 |
駆動 |
動作 |
非常時 |
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| 電磁バルブ |
エア＆電源 |
真空ポンプにつながる（つまり大気につながる）主バルブ。 |
エア＆電源 |
停電時→オフ
エア不足時→半開き |
| ゲートバルブ |
エア（バルブをFP経由オンオフ） |
メインデュワーとカルッセルデュワーをつなぐバルブ。 |
エア不足時→半開き |
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| 直線導入器 |
モータ（直進）とエア２個（回転・キャッチャー開閉） |
モータ（直進）：
エア（回転）：エア不足時→回転しなくなる
エア（開閉）： |
エア＆電源 |
停電時→オフ
エア不足時→半開き |
| 電磁バルブ |
電磁バルブ |
真 |
エア＆電源 |
停電時→オフ
エア不足時→半開き |
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