MOIRCS Mask Cutting Test 9/2006

MOS Slit Cutting Test-2
Tokoku
10/13/2006 Updated

Past Test (Japanese), 6/2004

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Test Objective
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Omata-san's suggestion :
>>>1. Cutting speed improvement with laser cutter.
   2. New high power laser cutter.
   3. Using EDM.
   4. Photochemical etching.
(This report is about 1.)

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テスト手順
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>>>( 1 ) まずベストパラメータを求める。
   ( 2 ) 幅の異なるスリットや位置の異なるスリットをいろいろ作る。
   ( 3 ) スリット幅を顕微鏡で測定して、レーザーへの入力対出力関係を求める。
   ( 4 ) 新しいマスク材の場合は、CIAOテストデュワーで冷却テスト。
   ( 5 ) 新しいマスク材の場合は、星を使ったピンホールマスクを作って、
         MOIRCSに実際に入れて画像をとり、熱収縮率を求める。

   ( - ) アノダイズ粉塵は有害で、カーボンの時とは要求される排気能力が変わる
         ようなので、湯谷さんに対処をお願いする。

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結果
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評価方法
5: 完全に切り落とせている。
4: 十分切れていて、そっとつつけば残り片も簡単にとれる。
3: ほとんど切れているがいくつか落ちていないものがある。
2: ほとんど残っているか、つついても落ちにくいものがかなりある。
1: まったく切れない。

MOIRCSフレームに入れて、すべて１回切りの結果     ...FOCASフレームでのテスト結果（途中でやめてます）





Aluminum Type
Current
Frequency
Marking Speed
Cutting
Feed Rate
Result
Comment



Hard-temper
(alloy-1100/1145)
( t=0.003mm )
16 A
1 kHz
1 mm/s
10 mm/m
1
success=0/5 ぜんぜん切れてない


18 A
2-3
success=0/5 かなり強くつつけば取れる


19 A
2-3
Current Method 強くつつくと取れる


20 A
2-3
success=0/5 固い


21 A
3-4
success=0/5 つつくととても簡単にとれる


22 A
3-4
success=0/5 つつくととても簡単にとれる


23 A
3-4
success=0/5 つつくととても簡単にとれる


24 A
3-4
success=0/5 つつくととても簡単にとれる


25 A
3
success=0/5 強くつつくと取れる


26 A
2-3
success=0/5 やや強くつつけば取れる


27 A
2
success=0/5 かなり強くつつくと取れる



19 A
1 kHz
1 mm/s
6 mm/m
3-4
success=0/5



22 A
1 kHz
1 mm/s
5 mm/m
3-5
success=2/5 強くつつくととれる


5 mm/m
3-5
success=3/5 


6 mm/m
3-5
success=3/5, 15 min for 5 slits


7 mm/m
3-5
success=1/5


3 mm/s
6 mm/m
4-5
success=3/5 つつくと外側のも簡単にとれる


5 mm/s
3-4
success=0/6 つつくとまあまあ取れる


10 mm/s
4-5
success=3/6 外側も簡単に取れる


20 mm/s
4-5
success=2/6 外側も簡単に取れる


40 mm/s
4-5
success=2/6 外側も簡単にとれる


100 mm/s
4-5
success=3/6 外側も簡単に取れる


10 kHz
1 mm/s
6 mm/m
1
success=0/5 ぜんぜん切れてない


40 kHz
1
success=0/5 跡すらついてない




24 A
1 kHz
1 mm/s
6 mm/m
4-5
success=1/5 残りも簡単に取れる


8 mm/s
3-5
success=0/5


Black anodized
( t=0.003mm )
19 A
1 kHz
1 mm/s
5 mm/m
4
FLAMINGOS's mask 残り（外側）もつつけば簡単に取れる


22 A
5 mm/m
4
success=1/5 残り（外側）もつつけば簡単にとれる


24 A
5 mm/m
5
success=5/5 全部切り落とせていた！


7 mm/m
5
success=5/5 全部切り落とせていた！


10 mm/m
4
success=3/5


26 A
10 mm/m
2-3
success=0/4 強めにつつけば取れる


Black painted
on usual mask
(alloy-1100/1145)
( t=0.003mm )
*
22 A
1 kHz
1 mm/s
6 mm/m
3-4
Black magic marker
success=1/5


Black coated
(alloy-1100/temp-O)
( t=0.002mm )
19 A
1 kHz
1 mm/s
5 mm/m
4
success=1/5 外側のは固くて取れない、ペイントが粘性が高いようだ


10 mm/m
4
success=3/5 外側のは固くて取れない


22 A
10 mm/m
5
success=5/5 全部切り落とせていた！


10 mm/m
4
success=4/8 残り（外側）もかんたんにとれる





* Black coated = Coating for absorption of light by MacMaster.

アノダイズマスク（表、裏）
 

黒コーティングマスク（表、裏）
 


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メモログ
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10/10/2006
  黒コーティングマスクを切ってみる。切れないのは反射率であることを確かめるため。
  コーティングはMOIRCS光学系で使っているのとそっくりのマット仕上げ。
  ただし、厚みが薄いので注意。コーティングに粘性があって、裏面のところが切れない。
  つついても切りにくい。

10/6/2006
  アノダイズマスクだと１回で全部切れるパラメータがあった。(24A, feed=5-7mm/m).

10/5/2006
  昨日求めて一番ましだったパラメータ（１回切り、22A, feed=6mm/m）で過去のサイエンスマスクを切ってみる。
  切り落とせたのは半分くらい。そのほかもつつけば取れた。外側にいくほど取りにくい。
  ほかの設定のときも、切れないときはたいてい外側である。

10/4/2006
  服部さんの許可のもと、レーザーワークベンチの左手前のハードストップの位置を
  調整のために動かす。その結果、FOCASフレームもMOIRCSフレームも入るようになった。 

10/3/2006
  なぜだか不明だが、９月のマスク製作中からレーザーのワークベンチのアライメントがおかしい。
  MOIRCSフレームはまったく入らない。