レーザーによるマスク製作 その２

とうこく

2005年6月24日

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このレポートの概要


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実験

FOCASのマスク加工用フレームにアルミシート入れてレーザでスリットを加工すると、
加工位置がFOCASより24um上になる。（FOCASのシートは100um、MOIRCSのシートは76um。）
スリット加工幅を指定するときは、このレーザビーム径を考慮した値を入力するので、
MOIRCSシートの位置でのビーム径考慮分を求める。

いろんな幅のスリットやピンホールを切って、顕微鏡で寸法を測る。ピンホールは
一つで二カ所の直径を測った。スリットの計測にはシグマ光機の２軸ステージで
一方の辺を10点サンプルして直線でフィットし、もう一辺のあつ一点を選んで
その点から直線までの距離を幅として求めた。


結果



出力値＝入力値＋0.116
比例定数が1よりやや小さいのはレーザビームの焦点にマスク面が
ないことによる加工精度のぶれや、測定自体の誤差が考えられる。