MOIRCS/MOS のスリット加工方法の再検討 Dec. 6, 2002 tokoku放電加工機とレーザ加工機の候補
| 方法 | 会社 | 機種名 | 精度 | ワークサイズ | コメント |
| 放電加工 | DIAX 三菱電気 | FA10 | 位置決め： 繰り返し： |
800×600 mm | サンプル加工あり：精度は実際の試加工で確認済み。 |
| Sodick ソディック | 返答あり：加工可能。切り口の面精度も可能。 放電加工以外は取り扱っていない。 |
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| DAIHEN ダイヘン | |||||
| マイクロリサーチ | |||||
| レーザ | 住友重機 | Flash cut system | 位置決め：10um 繰り返し：±2um |
800×600mm | 返答あり：加工可能。ワークステージのサイズはもっと小さくできる。 |
| JLC 日本レーザ | FOCASのレーザはここ |
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| Lambda Physik (独) | カタログ取り寄せ中 |
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| ミヤチテクノス |
* 「返答あり」について、問い合わせた項目 １）材料：サイズ 200×200mm、厚み 0.1-0.05mm でインバー程度硬さの金属 ２）スリット穴：幅0.1mm×長さ1mm。穴は板厚の方向に角錐型（60°）。 ３）スリット精度：幅方向0.01mm、長さ方向0.1mm、板厚方向も同程度。放電加工とレーザ加工の比較検討
| 放電加工 | レーザ加工 |
メリット ・熱や力を使わない（加工によってスリット周辺が ゆがむようなことはない）。 デメリット ・電極の磨耗のため、スリット加工の安定性が問題。 ・電極の磨耗・交換のため、ランニングコストがかかる。 ・大量の加工液（水とか）を備えた装置になる。 そのほか ・カーボンシートやアルミナなど、電気伝導性のない ものには使えない。 |
メリット ・精度はよいが、材料によって必要なパワーが異なる。 ・必要なメンテナンスは冷却水の交換程度。 デメリット ・パワーによっては、値段が高くなる。 そのほか ・山頂に置くとなると気圧や冷却水などの問題がでる。 |
| 種類 | 方法 | 波長 [um] |
発振 | 出力 | 効率 | 用途・詳細 |
| 固体レーザ | ルビー | 0.69 | P | 〜20J | 〜1 | 穴あけ |
| ガラス | 1.06 | P | 〜90J | 〜4 | 穴あけ・核融合 | |
| YAG | 1.06 | P/CW | P〜150J CW〜1kW |
〜3 | 穴あけ・切断・溶接 | |
| 半導体レーザ | GaAs InGaAsP |
0.6-1.6 | P/CW | CW〜50mW | 〜100 | 通信・計測・情報処理など |
| 気体レーザ | CO2 | 10.6 | P/CW | 〜40kW | 〜20 | 穴あけ・切断・溶接・熱処理 |
| エキシマ | 0.15-0.35 | P | 〜900mJ | 〜15 | 最もパワーが強く、用途の広いレーザ。 | |
| He-Ne | 0.63 | CW | 〜1mW | 〜1 | 計測・ディスプレイ | |
| Ar | 0.51 | CW | 〜25W | 〜0.1 | 穴あけ・計測 |
* P：パルス発振、CW：