迷光対策テスト マスク温度@約130K

2006年3月17日
とうこく

マスク フィルタ グリズム CAL メモ
スリットなし
アノダイズ


Hal1


Hal1 GV=CLOSE
CO
Hal1
Ks
Hal1
CO HK500 Hal1
K HK500 Hal1
H2 HK500

H2 HK500 Hal1
H2 HK500 Hal1 CAL移動
-60
-25
0
+25
+60




CO HK500

K


Ks


H2


H


CO

アームを
近づける

zJ500

CO zJ500


zJ500 Hal1 CAL +0mm

zJ500 Hal1 CAL +75mm
ピンホール
マスク

zJ500

CO


Ks






テストした組み合わせ
マスク フィルタ グリズム CAL その他
J H K Ks Kc H2 CO zJ
500
HK
500
1300
スリットなし
アノダイズ










Hal1










Hal1 GV=CLOSE









Hal1









Hal1








Hal1








Hal1


















Hal1








Hal1 CAL移動
-60
-25
0
+25
+60
































































アームを
近づける





























Hal1 CAL +0mm









Hal1 CAL +75mm
ピンホール
マスク