MOS床置きマスクテスト

2005年8月2-5日 小西、東谷
 
※ SOSS経由で取得。
※ meropeとatlasで同じファイル名があるので注意。mがch1、aがch2。
※ データ@ /scr20/local/o03020/tokoku/test/200508/

2005/8/2           merope           atlas
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M3 pinhole_3(パターン3)
              MCSA02162415   MCSA02162640   30sec  K,CSL,HOLE,アクリルふた
                    162710         162753
                    162907         162852
                    163056         163033
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M3 pinhole_2 (パターン2)
                    164814         164816   30sec  K,CSL,HOLE
                    164920         164920
                    165014         165015
                    165150         165149
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Pinhole Grid (10mmおきのピンホールグリッド)
                    170220         170157   30sec  K,CSL,HOLE
                    170314         170249
                    170411         170347   60sec  K,CSL,HOLE
                    170536         170510
                    170702         170720
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2005/8/5           merope           atlas
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M3 pinhole_1(パターン1)
              MCSA05135255   MCSA05135225    30sec  K,CSL,HOLE
                    135452         135451
                    135549         135549
                    135702         135701
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iroiro slits
                    140532         130533     30sec  K,CSL,HOLE
                    140639         140640
                    140737         140737
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M3 bunko
                    141357         141355     30sec  K,CSL,HOLE
                    141454         141452
                    141632         141628     30sec  K,CSL,HK500
                    141817         141815     60sec  K,CSL,HK500
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Longslits
                    142542         142542     30sec   K,CSL,HOLE
                    142642         142642
                    142740         142739
                    142910         142908    120sec   K,CSL,HK500
                    143141         143140
                    143458         143456    120sec   OC1.3,CSL,HK500
                    143756         143757
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SSA22 buckup
                    144636         144636    120sec  OC1.3,CSL,HK500
                    144907         144907
                    145259         145300     30sec  K,CSL,HOLE
                    145356         145367
                    145454         145454
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iroiro slits
                    150159         150157    120sec  K,CSL,HK500
                    150433         150341
                    150809         150809    120sec  OC1.3,CSL,HK500
                    151042         151043
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SSA22
                    162442         162444    120sec  OC1.3,CSL,HK500
                    162715         162716
                    163028         163028    120sec  OC1.3,CSL,HK500
                    163303         163302
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