装置を振ったときの光学ベンチの各部の「たわみ」

2001.9.30 tokoku


光学ベンチ
   幅300mm × 長さ1100mm ×厚み20mm
支柱の数
   12本(上に8本、下に4本)
条件
   真空中、常温
位置
   1:コリメータ#1
   2:コリメータ#2
   3:コリメータ#3
   4:ターレット#1
   5:カメラ#1
   6:カメラ#2
参考図



単位:m

垂直に吊したとき
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   NO.   DISPLACE -X    DISPLACE -Y    DISPLACE -Z    TOTAL   DISP  
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    1   -2.52869E-10   -1.76039E-08   -1.76045E-05    1.76045E-05   
    2   -1.81507E-09   -3.85039E-08   -1.75403E-05    1.75403E-05   
    3   -4.89542E-09    1.10972E-07   -1.74635E-05    1.74639E-05   
    4   -1.26882E-09    5.12783E-08   -1.72107E-05    1.72107E-05   
    5    1.39553E-08    4.19761E-09   -1.69848E-05    1.69848E-05   
    6   -2.87604E-09    2.28389E-08   -1.68477E-05    1.68477E-05   
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X方向に90°振ったとき
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   NO.   DISPLACE -X    DISPLACE -Y    DISPLACE -Z    TOTAL   DISP      
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    1    1.47289E-05    4.32662E-07   -1.45971E-07    1.47360E-05   
    2    1.82551E-05   -2.35902E-07   -9.71027E-08    1.82569E-05   
    3    1.88464E-05   -3.13510E-07    1.13230E-08    1.88490E-05   
    4    1.63627E-05   -1.11209E-07    1.08248E-07    1.63634E-05   
    5    1.35083E-05    2.18601E-07    1.19256E-07    1.35106E-05   
    6    1.04477E-05    1.42280E-08    9.27709E-08    1.04481E-05   
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Y方向に90°振ったとき
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   NO.   DISPLACE -X    DISPLACE -Y    DISPLACE -Z    TOTAL   DISP     
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    1    1.47300E-07    3.68584E-05   -1.39412E-06    3.68851E-05   
    2    1.66087E-08    3.58786E-05   -1.55486E-06    3.59123E-05   
    3    3.52526E-09    3.48487E-05   -1.73660E-06    3.48919E-05   
    4    3.83418E-09    3.10984E-05   -2.13069E-06    3.11713E-05   
    5    4.71711E-08    2.74160E-05   -2.21392E-06    2.75052E-05   
    6    1.51323E-09    2.28143E-05   -2.27018E-06    2.29269E-05   
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