| 呼び名 |
動作 |
部品名 |
部品番号・参照番号 |
メーカー |
メモ |
| アーム |
直線導入器 |
Z-Translator |
EMTX-1.87-20/B8/MS-Z
(S/N A01056NW) |
Thermonics |
特注品。バックアップ用に蛇腹だけ買ったときは$2425。モータはケリーが購入。 |
| アームの回転 |
- |
Rotary Table MSU Series |
MSUB20-180S |
SMC |
エア駆動。任意90°間を回転往復する。高精度シリーズ。日本語マニュアルあり。 |
| アームの開閉 |
- |
Linear Motion |
ALM-275-1 |
MDC |
1"Travel、エア駆動、UHV対応、Del-Sel CF port。 |
| アームの位置決め |
位置センサ |
Speed & Proximity Sensors |
653-EE-SX772R |
Omron |
"Dark On"型。仕様では-25℃まで使用可能。 |
| ロボハンド |
焦点面でのマスク保持 |
2-Jaws Parallel Gripper |
RP50PM |
DE-STA-CO
(旧) Robohand Inc, |
脱脂して使用。バネを押すと開く。
会社が変わり、製造中止リスト入り。交換部品などは当面あるようだ。 |
| ロボハンドの開閉 |
ロボハンドの開閉 |
Linear Motion |
ALM-275-1 |
MDC |
1" Travel、エア駆動、UHV仕様、Del-Sel CF port。
ロボハンドのバネを押して開き、引いて閉じる。 |
| ゲートバルブ |
デュワー部とMOS部の隔壁 |
Gate Valve |
LGV-8000V-P |
MDC |
8" Port、Electropneumatic駆動、HV仕様←Oringを使うためか？（UHV仕様はメタルシール）、
「Mechanical Position Indicator」オプションはつけたほうが良い。 |
| カルーセル用モータ |
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ケリーが購入。 |
| カルーセル用ベアリング |
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ケリーが購入。常温で使っているので普通のもの。 |
| Up-to-Air Valve |
デュワーの排気 |
Up-to-Air Valve |
K100-V |
MDC |
NW25用。 |
| コネクタ |
- |
ハーメチックコネクタ |
DDBシリーズ |
ダイトロン |
デフォルトのOringは高真空に対応できないので、自分で用意するかオプションでバイトンを指定する。 |
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