FT-IR Data
2010/2/1 Updated

Test Date Data Name Temp
[K]		 Memo
2010/1/27
TP1+TP3測定
▼ 一括		 3_2um_0.dat 常温 リファレンス。矢部ジグのみ。0.103hPa
3_2um_1.dat 常温 TP1とTP3。ベーキング開始前。
3_2um_2.dat ベーキング中。
3_2um_3.dat
3_2um_4.dat
3_2um_5.dat 345 K
3_2um_6.dat
3_2um_7.dat
3_2um_8.dat 333
3_2um_9.dat 333
3_2um_10.dat 333
3_2um_11.dat 334 冷却のためのHe管セットアップ
3_2um_12.dat He流れず、セットアップやりなおし。
3_2um_13.dat
3_2um_14.dat 30 冷却開始。いっきに30Kへ。ヒータON。開始直前は309K。
結局、ベーキングは5時間強。
3_2um_15.dat 45 〜60Kでキープ。
3_2um_16.dat 58
3_2um_17.dat 57
3_2um_18.dat 58
3_2um_19.dat 58
3_2um_20.dat 57
3_2um_21.dat 56 へこみが見えてきた。
3_2um_22.dat 56
3_2um_23.dat 55
3_2um_24.dat 54
3_2um_25.dat 60
3_2um_26.dat -
3_2um_27.dat 58
3_2um_28.dat -
3_2um_29.dat 55
3_2um_30.dat 53 0.036hPa。
3_2um_31.dat 52
3_2um_32.dat 58
3_2um_33.dat -
3_2um_34.dat -
3_2um_35.dat -
3_2um_36.dat -
3_2um_37.dat 57
3_2um_38.dat 63
3_2um_39.dat 68
3_2um_40.dat -
3_2um_41.dat
3_2um_42.dat 74
3_2um_43.dat - ゆっくり昇温開始。
3_2um_44.dat -
3_2um_45.dat 84
3_2um_46.dat -
3_2um_47.dat 89
3_2um_48.dat - ソフトが落ちた。
A3_2um_0.dat 95 0.056hPa。
A3_2um_1.dat 96
A3_2um_2.dat 97
A3_2um_3.dat 104
A3_2um_4.dat 110
A3_2um_5.dat 114
A3_2um_6.dat 117
A3_2um_7.dat 120
A3_2um_8.dat -
A3_2um_9.dat 123
A3_2um_10.dat 125
A3_2um_11.dat -
A3_2um_12.dat 127
A3_2um_13.dat 129
A3_2um_14.dat 135
A3_2um_15.dat -
A3_2um_16.dat -
A3_2um_17.dat 137
A3_2um_18.dat 138 へこみはまだ成長中。
A3_2um_19.dat -
A3_2um_20.dat 147
A3_2um_21.dat 155
A3_2um_22.dat 165
A3_2um_23.dat -
A3_2um_24.dat 188
A3_2um_25.dat 188 みるみるうちにへこみが回復してきた。1回ごとに、30%→40%→50%
A3_2um_26.dat 194 へこみなくなった。温度を再び下げてみる。
A3_2um_27.dat 162
A3_2um_28.dat 156
A3_2um_29.dat 157
A3_2um_30.dat 157 0.036hPa。
A3_2um_31.dat 157
A3_2um_32.dat 158
A3_2um_33.dat 158
A3_2um_34.dat 158
A3_2um_35.dat 158
A3_2um_36.dat 158
A3_2um_37.dat 158 何も起こらないので昇温開始。
A3_2um_38.dat 160
A3_2um_39.dat 178
A3_2um_40.dat 197
A3_2um_41.dat 216 0.037hPa。
A3_2um_42.dat 233
A3_2um_43.dat 248
A3_2um_44.dat -
A3_2um_45.dat 276
A3_2um_46.dat -
A3_2um_47.dat 303
A3_2um_48.dat 315
A3_2um_49.dat 334
A3_2um_50.dat 346
A3_2um_51.dat 351
A3_2um_52.dat 350
A3_2um_53.dat - ヒータOFF。
A3_2um_54.dat 341 終了。
2010/1/28
Si(CZ)基板測定
▼ 一括		 SiCZ_0.dat 常温 Si(CZ)基板測定用バックグラウンド。2010/1/27の最後に測定。
デフォルトジグのみ。0.115hPa
SiCZ_1.dat 常温 Si(CZ)のリファレンス。2010/1/27の最後に測定。このあと一晩ベーキング。305〜340K＠〜10-3Torr。
SiCZ_2.dat 338 2010/1/28朝イチの測定。ベーキング中。
SiCZ_3.dat 338 冷却開始。ゆっくり冷えるようにする。0.0319hPa。
結局、ベーキングは約10時間。
SiCZ_4.dat 320
SiCZ_5.dat 285
SiCZ_6.dat -
SiCZ_7.dat 241 1K/10sくらいのペースで冷却。効率上昇中。インジウムの穴が広がった？
SiCZ_8.dat -
SiCZ_9.dat 206
SiCZ_10.dat -
SiCZ_11.dat 178
SiCZ_12.dat 168
SiCZ_13.dat 159
SiCZ_14.dat 150
SiCZ_15.dat 141
SiCZ_16.dat -
SiCZ_17.dat -
SiCZ_18.dat 121
SiCZ_19.dat 114
SiCZ_20.dat 108
SiCZ_21.dat 105 へこみが見えてきた。
SiCZ_22.dat 101
SiCZ_23.dat 97
SiCZ_24.dat -
SiCZ_25.dat 87
SiCZ_26.dat 82
SiCZ_27.dat -
SiCZ_28.dat 75
SiCZ_29.dat 68
SiCZ_30.dat 62 0.036hPa。
SiCZ_31.dat 62
SiCZ_32.dat 60
SiCZ_33.dat - 〜60Kをキープ。
SiCZ_34.dat 60
SiCZ_35.dat 60
SiCZ_36.dat 60
SiCZ_37.dat 60
SiCZ_38.dat 60
SiCZ_39.dat -
SiCZ_40.dat 59
SiCZ_41.dat 59
SiCZ_42.dat 60
SiCZ_43.dat 60
SiCZ_44.dat 60
SiCZ_45.dat 60
SiCZ_46.dat 60
SiCZ_47.dat 60 ゆっくり昇温開始。
SiCZ_48.dat -
SiCZ_49.dat 67 0.056hPa。
SiCZ_50.dat 70
SiCZ_51.dat 75
SiCZ_52.dat 78
SiCZ_53.dat 83
SiCZ_54.dat 86
SiCZ_55.dat 93
SiCZ_56.dat 101
SiCZ_57.dat 110
SiCZ_58.dat 118
SiCZ_59.dat 128
SiCZ_60.dat 136
SiCZ_61.dat 144
SiCZ_62.dat 154
SiCZ_63.dat 163
SiCZ_64.dat 171
SiCZ_65.dat 182
SiCZ_66.dat 193
SiCZ_67.dat 204 変化ないので昇温ペース速める。
SiCZ_68.dat 219
SiCZ_69.dat 235
SiCZ_70.dat 249
SiCZ_71.dat 261
SiCZ_72.dat 275
SiCZ_73.dat 286 急激に再冷却してみる。
SiCZ_74.dat 145
SiCZ_75.dat 63 〜60Kでキープ。
SiCZ_76.dat 53
SiCZ_77.dat 53
SiCZ_78.dat 57
SiCZ_79.dat 60
SiCZ_80.dat 60
SiCZ_81.dat 60
SiCZ_82.dat 60
SiCZ_83.dat 60
SiCZ_84.dat 60
SiCZ_85.dat 60 急激に昇温。
SiCZ_86.dat 126
SiCZ_87.dat 175
SiCZ_88.dat 213
SiCZ_89.dat 243 急激に再冷却。下がるところまで。
SiCZ_90.dat 32
SiCZ_91.dat 13
SiCZ_92.dat 4
SiCZ_93.dat 4
SiCZm_94.dat 4
SiCZ_95.dat 4 昇温開始。
SiCZ_96.dat 100
SiCZ_97.dat 130
SiCZ_98.dat 159
SiCZ_99.dat 180
SiCZ_100.dat 211
SiCZ_101.dat 250
SiCZ_102.dat 273
SiCZ_103.dat 298
SiCZ_104.dat 323
SiCZ_105.dat 302
SiCZ_106.dat 302
SiCZ_107.dat 302 終了。
2010/1/28
Si(FZ)基板測定
▼ 一括		 SiFZ_0.dat 302 Si(CZ)基板測定用バックグラウンド。
矢部ジグ＋インジウムのみ。光源温度42℃。
SiFZ_1.dat 常温 バックグラウンド。チェック用。
SiFZ_2.dat 302
SiFZ_3.dat 302 Si(CZ)基板測定用リファレンス。0.127hPa。
SiFZ_4.dat 320
SiFZ_5.dat - 冷却開始。いっきに冷やす。
SiFZ_6.dat -
SiFZ_7.dat 165
SiFZ_8.dat 100
SiFZ_9.dat 60 〜60Kでキープ。
SiFZ_10.dat 58
SiFZ_11.dat -
SiFZ_12.dat -
SiFZ_13.dat 59 へんこんできている。
SiFZ_14.dat 61
SiFZ_15.dat 59
SiFZ_16.dat 58
SiFZ_17.dat 61 へこんできている。
SiFZ_18.dat 62
SiFZ_19.dat -
SiFZ_20.dat 59 昇温開始。0.1K/sくらい。
SiFZ_21.dat 64
SiFZ_22.dat 69
SiFZ_23.dat 77
SiFZ_24.dat 84
SiFZ_25.dat -
SiFZ_26.dat -
SiFZ_27.dat -
SiFZ_28.dat 106
SiFZ_29.dat -
SiFZ_30.dat 117 0.074hPa。
SiFZ_31.dat -
SiFZ_32.dat 126
SiFZ_33.dat 130
SiFZ_34.dat 136
SiFZ_35.dat 144
SiFZ_36.dat 153
SiFZ_37.dat 160
SiFZ_38.dat 166 へこみがなくなる直前に一回深くなってから消えた。
SiFZ_39.dat 185
SiFZ_40.dat 198
SiFZ_41.dat 213
SiFZ_42.dat 229
SiFZ_43.dat -
SiFZ_44.dat 247 0.0833 hPa。ノイズが大きい？
SiFZ_45.dat - ポンプ類を止めてみた。ノイズ改善なし。
SiFZ_46.dat 274
SiFZ_47.dat 288
SiFZ_48.dat 307
SiFZ_49.dat 320 0.0738 hPa。
SiFZ_50.dat 323
SiFZ_51.dat 319
SiFZ_52.dat 316 ヒータを止めてみた。ノイズ改善なし。
SiFZ_53.dat 310
SiFZ_54.dat 305
SiFZ_55.dat 302
SiFZ_56.dat 300 終了。


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